省计量院建立省内纳米计量领域首个社会公用计量标准

      近日，浙江省计量院“扫描探针显微镜校准装置”通过了专家组现场考核，建立了省内首个纳米计量领域社会公用计量标准。
      目前，省计量院已具备微纳几何结构关键尺寸的计量校准能力，可为半导体企业、精密加工中心的关键尺寸测量提供量值溯源至国家基准的途径，更加全面准确地为半导体、微电子行业的纳米尺度关键尺寸检测提供技术保障。
      近年来，省计量院为了加强质量技术基础及体系建立, 服务我省经济转型升级，围绕“三强一制造”中心工作，不断在高端装备、医疗卫生、大气治理、新材料等领域建立社会公用计量标准，满足新产业领域发展的需要。